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MMD系列粗糙度輪廓一體機

MMD系列粗糙度輪廓一體機

主要參數(shù):采用威而信自主產(chǎn)權(quán)的國內(nèi)首創(chuàng)技術(shù),國際領先的測量范圍及精度,真正意義上的輪廓粗糙度一次測量解決方案

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主要功能


1

輪廓測量功能




點:點、中點、交點、最高點、最低點

線:直線、切線、垂直線、平行線、平分線

圓:局部圓、橢圓、切圓

角度:夾角、水平角度、豎直角度

位置公差:直線度、凸度、輪廓度、垂直度、平行度

輔助生成:包含輔助點、輔助線、輔助圓




2

粗糙度分析



Ra,Rq,Rz(Ry),Rz(DIN),R3z,Rz(jis),Rp,Rv,Rt,Rsk,Rsm,Rc,Rpm,Rku,Rdq,Roc,Mr1,Mr2,Rpk,Rvk,Rk,Rdc,A1,A2,R,Rx,AR,Rcp,Rmax,Rz-ISO




3

波紋度分析



wt,wa,wp,wv,wq,wc,wku,wsk,w,wx,wz,wsm,wdc,wte,wmr,Aw,c(wmr)wmr(c),wdq




技術(shù)亮點



● 自主知識產(chǎn)權(quán)的國內(nèi)首創(chuàng)技術(shù):采用光柵傳感器同時滿足粗糙度與輪廓尺寸的測量

● 利用干涉掃描光柵尺,分辨率可達1nm,可滿足超高精度的測量

● 超高分辨率傳感器可同時滿足粗糙度與輪廓尺寸的測量,測量過程中無需更換傳感器

● 大量程與高精度同時兼容,可滿足弧面、柱面、自由曲面等不規(guī)則表面粗糙度與尺寸的一體式?測量

● 特有的粗糙度評價算法與位置補償方法,有效更正和補償被測面是非平面的測量誤差,有效保?證測量曲面、弧面工件粗糙度與平面粗糙度一樣高精度和高準確度

● 無需數(shù)學方法修正、接近零摩擦系數(shù)的導軌,可長久保持高精度測量基準,精度始終如一

● 自定義模板,批量測量,自動標注




產(chǎn)品參數(shù)


選型與參數(shù)MMD-PGMMD-PG-SPMMD-PG-UP
測量范圍X軸100mm ~ 200mm
X軸分辨率0.1μm0.05μm0.02μm
Z1軸±10mm/±20mm/±30mm
Z1軸分辨率0.05μm0.02μm0.01μm
Z軸450mm ~ 550mm
輪廓精度線性精度X±(1.6+0.05L)μm ±(1.4+0.02L)μm±(1.2+0.02L)μm
線性精度Z1±(1.2+0.05H)μm ±(0.6+0.02H)μm±(0.5+0.02H)μm
角度≤1′
圓弧±(1.8+R/12)μm ±(1.5+R/12)μm±(1.2+R/12)μm
直線度1.0μm/100mm0.8μm/100mm0.5μm/100mm
粗糙度精度示值誤差±(10nm+0.05A)μm ±(7nm+0.05A)μm±(5nm+0.04A)μm
殘值噪聲≤0.01μm≤0.007μm≤0.005μm
重復性7%5%4%



選型與參數(shù)MMD-HPGMMD-HPG-SPMMD-HPG-UP
測量范圍X軸100mm ~ 200mm
X軸分辨率0.01μm5nm2nm
Z1軸±5mm/±8mm/±12mm
Z1軸分辨率0.01μm5nm2nm
Z軸450mm ~ 550mm
輪廓精度線性精度X±(1.0+0.02L)μm ±(0.6+0.02L)μm±(0.4+0.02L)μm
線性精度Z1±(0.4+0.02H)μm ±(0.3+0.02H)μm±(0.2+0.02H)μm
角度≤1′
圓弧≤±(1.0+R/12)μm ≤±(0.8+R/12)μm≤±(0.5+R/12)μm
圓弧Pt≤0.5μm≤0.3μm≤0.2μm
直線度0.4μm/100mm0.3μm/100mm0.2μm/100mm
粗糙度精度示值誤差±(5nm+0.035A)μm±(4nm+0.03A)μm±(2nm+0.02A)μm
殘值噪聲≤0.006μm≤0.004μm≤0.002μm
重復性3%2%2%




選型與參數(shù)MMD-UPGMMD-UPG-SPMMD-UPG-UP
測量范圍X軸200mm ~ 300mm
X軸分辨率0.01μm5nm1nm
Z1軸±5mm/±8mm/±12mm
Z1軸分辨率0.01μm5nm1nm
Z軸550mm ~ 650mm
輪廓精度線性精度X±(1.0+0.02L)μm ±(0.6+0.02L)μm±(0.4+0.02L)μm
線性精度Z1±(0.4+0.02H)μm ±(0.3+0.02H)μm±(0.2+0.02H)μm
角度≤1′
圓弧±(1.0+R/12)μm ±(0.8+R/12)μm±(0.5+R/12)μm
圓弧Pt≤0.5μm≤0.3μm≤0.2μm
直線度0.3μm/100mm0.2μm/100mm0.1μm/100mm
粗糙度精度示值誤差±(5nm+0.035A)μm ±(5nm+0.03A)μm±(5nm+0.02A)μm
殘值噪聲≤0.006μm≤0.004μm≤0.002μm
重復性3%2%2%


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一體機案例@3x.png





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